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发明名称 CZ SINGLE CRYSTAL DOPED WITH Ga AND WAFER AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 EP1114885(B1) 申请公布日期 2006.03.01
申请号 EP20000922915 申请日期 2000.04.28
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD;SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 ABE, TAKAO;HIRASAWA, TERUHIKO;TOKUNAGA, KATSUSHI;IGARASHI, TETSUYA;YAMAGUCHI, MASAFUMI
分类号 C30B29/06;C30B15/00;H01L31/0288 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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