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发明名称
Apparatus band Method of controlling the manufacturing process of a semiconductor device
摘要
申请公布号
GB2417609(A)
申请公布日期
2006.03.01
申请号
GB20050016533
申请日期
2005.08.11
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
JONATHON YANCEY SIMMONS
分类号
H01L21/00;C23C14/56;H01J37/317
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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