包括金属腔层的喷墨头及其制造方法

摘要

本发明公开了一种具有金属腔层的喷墨头的制造方法。该方法包括制备具有压力产生元件的基板，该压力产生元件用于产生压力以喷射墨。然后在所述基板上形成用于界定墨流动通道的侧壁的金属腔层。形成牺牲层以填充在由所述金属腔层界定的侧壁之间将形成墨流动通道的区域。然后在所述金属腔层和所述牺牲层上形成喷嘴层，该喷嘴层具有对应于所述压力产生元件的喷嘴。

主权项

1.一种喷墨头的制造方法，该方法包括：制备具有压力产生元件的基板，所述压力产生元件产生压力以喷射墨；在所述基板上形成金属腔层以用于界定墨流动通道的侧壁；形成牺牲层以填充在由所述金属腔层界定的侧壁之间将形成所述墨流动通道的区域；以及在所述金属腔层和所述牺牲层上形成喷嘴层，所述喷嘴层具有对应于所述压力产生元件的喷嘴。