发明名称 | 表面发射半导体激光器及其制造方法 | ||
摘要 | 一种表面发射半导体激光器包括:衬底、衬底上的半导体层叠层、在叠层上形成并具有激光发射窗的台体,和至少覆盖台体的侧面和外围部分的绝缘膜,该台体的外围部分由叠层形成。绝缘膜的末端被设置得比衬底的截断端更靠内。 | ||
申请公布号 | CN1741332A | 申请公布日期 | 2006.03.01 |
申请号 | CN200510105172.6 | 申请日期 | 2003.09.15 |
申请人 | 富士施乐株式会社 | 发明人 | 大森诚也 |
分类号 | H01S5/18(2006.01);H01S5/183(2006.01) | 主分类号 | H01S5/18(2006.01) |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 任默闻 |
主权项 | 1.一种表面发射半导体激光器,其包括:衬底;形成在衬底上的半导体层叠层;设置在该叠层上并且具有激光发射窗的台体;以及至少覆盖台体的侧面和外围部分的绝缘膜,该台体的外围部分由叠层形成,在该叠层的一部分上形成有一凹槽,并置于台体的外围部分以便围绕台体;绝缘膜设置在包括凹槽的区域上。 | ||
地址 | 日本东京 |