发明名称 表面发射半导体激光器及其制造方法
摘要 一种表面发射半导体激光器包括:衬底、衬底上的半导体层叠层、在叠层上形成并具有激光发射窗的台体,和至少覆盖台体的侧面和外围部分的绝缘膜,该台体的外围部分由叠层形成。绝缘膜的末端被设置得比衬底的截断端更靠内。
申请公布号 CN1741332A 申请公布日期 2006.03.01
申请号 CN200510105172.6 申请日期 2003.09.15
申请人 富士施乐株式会社 发明人 大森诚也
分类号 H01S5/18(2006.01);H01S5/183(2006.01) 主分类号 H01S5/18(2006.01)
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 任默闻
主权项 1.一种表面发射半导体激光器,其包括:衬底;形成在衬底上的半导体层叠层;设置在该叠层上并且具有激光发射窗的台体;以及至少覆盖台体的侧面和外围部分的绝缘膜,该台体的外围部分由叠层形成,在该叠层的一部分上形成有一凹槽,并置于台体的外围部分以便围绕台体;绝缘膜设置在包括凹槽的区域上。
地址 日本东京
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