| 发明名称 | 一种薄膜微桥结构 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种薄膜微桥结构。其桥腿与桥面采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔。本实用新型解决了由于桥腿弯曲而导致的应力集中问题；并采用了应力平衡技术，利用二氧化硅薄膜的压应力来平衡氮化硅薄膜的张应力，可以获得具有较低应力的复合薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN2761576Y | 申请公布日期 | 2006.03.01 |
| 申请号 | CN200420057831.4 | 申请日期 | 2004.12.17 |
| 申请人 | 华中科技大学 | 发明人 | 黄光;王宏臣;陈四海;何少伟;付小朝;易新建;马宏 |
| 分类号 | B81B7/02(2006.01);G01K7/00(2006.01);G01K7/16(2006.01) | 主分类号 | B81B7/02(2006.01) |
| 代理机构 | 华中科技大学专利中心 | 代理人 | 曹葆青 |
| 主权项 | 1、一种薄膜微桥结构，其特征在于：桥腿(2、3)与桥面(1)采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿(2、3)的一端与桥面(1)相连，另一端架在金属桥墩(4、5)上，桥面(1)由桥腿(2、3)和桥墩(4、5)支撑悬浮在衬底(7)上，桥面(1)与衬底(7)之间构成空腔(6)。 | ||
| 地址 | 430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 | ||