发明名称 研磨液供应管件
摘要 一种具临场混合(In-sit Mixing)功能以及具搅拌功能的化学机械研磨(Chemical Mechanical Polishing; CMP)研磨液供应管件。此管件特征在于存在有一旋转式内管,此内管两侧的不同端上分别形成有数个孔洞。而以一脉冲式帮浦推动流体或是 CMP 研磨液时,旋转式内管即可旋转,因此可达到搅拌及混合的目的。
申请公布号 TW396445 申请公布日期 2000.07.01
申请号 TW087121963 申请日期 1998.12.31
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 杨名声;赖建兴;彭朋意;吴俊元
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种具临场混合功能的流体供应管件,包括:一外管;以及一可转动之内管,配置于该外管内,该内管具有一第一侧与第二侧,该第一侧之一端具有复数个第一孔洞,且该内管之该第二侧之另一端具有复数个第二孔洞。2.如申请专利范围第1项所述之流体供应管件,其中该些第一孔洞与该些第二孔洞系位于该旋转式内管之不同端。3.如申请专利范围第1项所述之流体供应管件,其中该外管具有一第一开口,用以将一流体导入该外管中,以及一第二开口,用以将该流体导出该外管。4.如申请专利范围第3项所述之流体供应管件,其中该内管具有一第三开口,且该第一开口与该外管之该第一开口具有相同之一开口方向,且该流体可经由该第三开口进入该内管中。5.如申请专利范围第4项所述之流体供应管件,其中进入该内管之该流体可分别经由该些第一孔洞与第二孔洞喷出,藉以转动该内管。6.如申请专利范围第1项所述之流体供应管件,其中该内管为一耐腐蚀材质。7.如申请专利范围第1项所述之流体供应管件,其中该外管为一耐腐蚀材质。8.一种研磨液供应管件,具有搅拌与临场混合功能,包括:一外管,具有一第一口径且具有一扩张段,该扩张段具有较该第一口径大的一第二口径;以及一旋转式内管,配置于该外管之该扩张段内。9.如申请专利范围第8项所述之研磨液供应管件,其中该旋转式内管更包括具有复数个第一孔洞位于该旋转式内管之一侧,以及复数个第二孔洞位于该旋转式内管之另一侧。10.如申请专利范围第9项所述之研磨液供应管件,其中该些第一孔洞与该些第二孔洞系位于该旋转式内管之不同端。11.如申请专利范围第8项所述之研磨液供应管件,其中该内管为一铁氟龙材质。12.如申请专利范围第8项所述之研磨液供应管件,其中该外管为一铁氟龙材质。图式简单说明:第一图绘示本发明一较佳实施例所提出之一种研磨液供应管件之上视示意图;以及第二图绘示沿着第一图之II-II线所得之剖面示意图。
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