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发明名称 BOARD FOR PROBE CARD, INSPECTION APPARATUS, PHOTO-FABRICATION APPARATUS AND PHOTO-FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 EP1629288(A1) 申请公布日期 2006.03.01
申请号 EP20040732020 申请日期 2004.05.10
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.;JSR CORPORATION 发明人 KOYAGI, Y.;SHIMOZUMA, H.;TANABE, TAKAYOSHI;YASHIRO, TAKAO
分类号 G01R1/073;G01R3/00;H01L21/66;H05K3/00;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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