发明名称 ELECTRONIC MATERIAL, ITS MANUFACTURING METHOD, DIELECTRIC CAPACITOR, NONVOLATILE MEMORY AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100504318(B1) 申请公布日期 2006.02.28
申请号 KR19970074426 申请日期 1997.12.26
申请人 发明人
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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