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发明名称
Scribe line planarization layer
摘要
An apparatus including a plurality of devices formed on a substrate, and a scribe line area separating each of the plurality of devices, and a masking material overlying a portion of the scribe line area.
申请公布号
US7005718(B2)
申请公布日期
2006.02.28
申请号
US20020072216
申请日期
2002.02.05
申请人
INTEL CORPORATION
发明人
WESTER NEIL S.
分类号
H01L27/14;H01L21/301;H01L21/312;H01L21/46;H01L21/78;H01L23/544
主分类号
H01L27/14
代理机构
代理人
主权项
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