发明名称 ION SOURCE SECTION FOR ION IMPLANTATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR100553716(B1) 申请公布日期 2006.02.24
申请号 KR20040060811 申请日期 2004.08.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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