| 主权项 |
1.一种用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,与一预置槽结合,此用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置包括:一基座,其上具有至少一孔洞;一管衔结构,具有一第一端口与一第二端口,该管衔结构之该第一端口,气密连结至该基座上之该孔洞,而得与该基座结合;以及一透明长管,供一液体通过,该透明长管具有一第一管口与一第二管口,该第一管口气密连接至该管衔结构之第二端口,而第二管口设置于该预置槽内部,而得以将一原液输出。2.如申请专利范围第1项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,更包括另一管衔结构,该另管衔结构具有一第一端口与一第二端口,该另管衔结构之该第一端口,气密连结至该基座上之该孔洞,而得与该基座结合。3.如申请专利范围第2项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,更包括一透明短管,供该原液通过,该透明短管具有一第一管口与一第二管口,该第一管口气密连接至该另一管衔结构之该第二端口,而该第二管口设置于该预置槽内部,而得以将该原液输入。4.如申请专利范围第3项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,其中该透明长管与该透明短管系由铁氟龙构成。5.如申请专利范围第3项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,其中该两管衔结构系由铁氟龙构成。6.如申请专利范围第3项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,其中该添加液为去离子水。7.如申请专利范围第3项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,其中该基座系由聚氯乙烯构成。8.如申请专利范围第3项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,更包括一搅拌器,一端连接该基座之孔洞,另一端位于该预置槽内部,用以调匀该液体与该添加液。9.如申请专利范围第3项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,更包括一控制装置,用以控制该透明短管输入一清洁液,以进行该预置槽清洗后,再控制该透明长管将该预置槽内之该清洁液与该液体排出。10.如申请专利范围第3项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,更包括一第一导引管,经由一第一管衔装置,连接到该透明长管所连接孔洞的另一侧;以及一第二导引管,经由一第二管衔装置,连接到该透明短管所连接孔洞的另一侧。11.如申请专利范围第10项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,其中该第一导引管、第一管衔装置、第二导引管以及第二管衔装置系由铁氟龙构成。12.一种用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,与一预置槽结合,该用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置包括:一基座,其上具有至少一个孔洞;一第一管衔结构,连接到该孔洞之一端,用以与该基座结合后易于拆卸;一透明管路,具有两管口,一管口插入到第一管衔结构结构内,另一管口位于该该预置槽内;一第二管衔结构,连接到该孔洞之另一端,用以与该基座结合后易于拆卸;以及一分叉管,具有至少三个管口,一第一管口插入到该第二管衔结构,一第二管口,用以将一液体输出,一第三管口,用以将一添加液输入。13.如申请专利范围第12项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,其中该分叉管系为Y型之结构。14.如申请专利范围第12项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,其中该分叉管系为T型之结构。15.如申请专利范围第12项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,更包括一搅拌器,一端连接另一孔洞,另一端位于该预置槽内部,用以调匀该液体与该添加液。16.如申请专利范围第12项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,其中该透明管路系由铁氟龙构成。17.如申请专利范围第12项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,其中该第一管衔、第二管衔系由铁氟龙构成。18.如申请专利范围第12项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,其中该添加液为去离子水。19.如申请专利范围第12项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,其中该基座系由聚氯乙烯构成。20.如申请专利范围第12项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,更包括一控制装置,用以控制先输入一清洁液,清洗该预置槽后,再控制将该预置槽内之该清洁液与该液体排出。21.如申请专利范围第12项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,其中该分叉管系由铁氟龙构成。22.如申请专利范围第12项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制装置,其中该分叉管更包括一控制闸,用以控制切换添加液输入与液体输出在不同时间的动作。23.一种用于化学机械研磨法之原液输入输出控制方法,包括下述步骤:于一预置槽内装设一原液;设一透明长管,该透明长管具有一第一管口与一第二管口,该第二管口设置于该预置槽内部,得以抽取该原液;设一第一管衔结构,该第一管衔结构设有一第一端口与一第二端口,使该第二端口,气密连结至该第一管口,使该原液经由该第一管口,传至该第一管衔结构;以及设一基座,具有至少一孔洞,使该第一端口与该孔洞气密结合,而得使该原液由该第一管衔结构,经由该孔洞向外输出。24.如申请专利范围第23项所述之用于化学机械研磨法之原液输入输出控制方法,其步骤更包括:设一第二管衔结构,该第二管衔结构设有一第三端口与一第四端口,使该第三端口与该孔洞气密结合,而得使一添加液由该孔洞,传至该第二管衔结构;设一透明短管,该透明短管具有一第三管口与一第四管口,使该第三管口,气密连结至该第四端口,使该添加液经由第四端口,传至该透明短管;以及该第四管口设置于该预置槽内部,得以输入该添加液。25.一种用于化学机械研磨法之原液输入输出控制方法,包括下述步骤:于一预置槽内装设一原液;设一透明短管,该透明短管具有一第一管口与一第二管口,该透明短管之该第二管口设置于该预置槽内部,得以抽取该原液及输入一添加液;设一第一管衔结构,该第一管衔结构设有一第一端口与一第二端口,使该第一管衔结构之该第二端口,气密连结至该透明短管之该第一管口,使该原液经由该透明短管之该第一管口,传至该第一管衔结构,及使该添加液经由该第一管衔结构,传至该透明短管之该第一管口;设一有至少一孔洞之基座,使该第一管衔结构之该第一端口与该基座之该孔洞之一端气密结合,而得使该原液由该第一管衔结构,经由该基座之该孔洞之一端向外输出,及得使该添加液由该基座之该孔洞之一端,经由该第一管衔结构向内输入;设一第二管衔结构,该第二管衔结构设有一第一端口与一第二端口,使该第二管衔结构之该第二端口,气密连结至该孔洞之另一端,而得使该原液由该基座之该孔洞之另一端,经该第二管衔结构向外输出,及得使该添加液由该第二管衔结构,经由其基座之该孔洞之另一端向内输入;以及设一分叉管,该分叉管之第一管口,气密连结至该第二管衔结构之该第一端口,而得使该原液由该基座之该孔洞之另一端,经由该第二管衔结构之第二端口向外输出,及得使该添加液由该第二管衔结构之第三端口,经由该基座孔洞之另一端向内输入。图式简单说明:第一图绘示习知EBARA公司之SSU/CSU瓶子的H管结构图形;第二图绘示本发明的液体输入输出控制装置图形;以及第三图A-第三图D绘示本发明单管构造之液体输入输出控制装置的四种不同型态图形。 |
