| 发明名称 |
REACTEUR A PLASMA POUR LA PULVERISATION DE FILMS METALLIQUES ET DIELECTRIQUES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2784906(B1) |
申请公布日期 |
2006.02.24 |
| 申请号 |
FR19990011876 |
申请日期 |
1999.09.23 |
| 申请人 |
ALCATEL |
发明人 |
PANDHUMSOPORN TAMARAK;FELDMAN MARK |
| 分类号 |
H01J25/50;H01J37/32;H01J37/34;H05H1/16;B05B7/22;C23C14/38;C23C14/35;C23C14/50 |
主分类号 |
H01J25/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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