发明名称 Beschichtungsanlage für Wafer
摘要
申请公布号 DE202005020274(U1) 申请公布日期 2006.02.23
申请号 DE200520020274U 申请日期 2005.12.23
申请人 BOHNET, SASKIA;THIEL, INGRID 发明人
分类号 H01L21/00;G03F7/20 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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