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经营范围
发明名称
Beschichtungsanlage für Wafer
摘要
申请公布号
DE202005020274(U1)
申请公布日期
2006.02.23
申请号
DE200520020274U
申请日期
2005.12.23
申请人
BOHNET, SASKIA;THIEL, INGRID
发明人
分类号
H01L21/00;G03F7/20
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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