| 发明名称 |
DIFFRAKTIONSFÜHRUNG FÜR SCHRÄGEINFALLINTERFEROMETER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69730953(T2) |
申请公布日期 |
2006.02.23 |
| 申请号 |
DE1997630953T |
申请日期 |
1997.04.07 |
| 申请人 |
TROPEL CORP., FAIRPORT |
发明人 |
KULAWIEC, W.;MICHALOSKI, F. |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/00;G01B11/24;G01N21/88;G01N21/952 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
