静电卡盘

摘要

【课题】B本发明提供一种静电卡盘，供给热量于晶圆，并使晶圆的热量经由突起以及后方气体往静电卡盘传导，此静电卡盘能够使晶圆的温度控制变得容易，并且提高晶圆的温度之均一度。 g解决手段B静电卡盘t包括：绝缘层、，具有用来设置晶圆10的设置面2a；内部电极，设置于此绝缘层；以及突起3A，从上述设置面突出并且具有与上述晶圆接触之接触面14。在上述晶圆吸附的状态下在空间11内流动着后方气体，并且供给热量于上述晶圆，并将此晶圆的热量经由上述突起以及上述后方气体往静电卡盘的方向传导。突起接触面工14.的面积合计值为上述内部电极的面积之；的以下，丘五上述突起的高度H为tμm以上。10川四以下。

主权项

1.一种静电卡盘,包括:绝缘层,具有用来设置晶圆的设置面;内部电极,设置于此绝缘层;以及突起,从上述设置面突出并且具有与上述晶圆接触之接触面;在上述晶圆吸附的状态下藉由上述设置面与上述突起及上述晶圆所形成的空间内流动着后方气体,并且供给热量于上述晶圆,并将此晶圆的热量经由上述突起以及上述后方气体往静电卡盘方向传导,其特征在于:上述突起的上述接触面的面积合计値为上述内部电极的面积之1%以下,并且上述突起的高度为1m以上、10m以下。图式简单说明:第1图为概略地显示本发明之一实施形态相关之静电卡盘1的上视图。第2图为第1图之静电卡盘之一部分的扩大剖面图。