| 主权项 |
1.一种判别不同晶圆制程之装置,适用于复数个不同晶圆制程,包括:复数个晶圆卡匣,分别具有不同的透光度,用于该各个不同晶圆制程;一光感应器,用以感应该各个晶圆卡匣之该透光度,而输出对应该透光度之透光讯号;以及一放大显示器,连接该光感应器,用以接收该透光讯号而获得该透光度,以判别该晶圆卡匣。2.如申请专利范围第1项所述之装置,更包括一警报器,连接该放大显示器,用以对于一预先设定之透光度发出警报。3.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该光感应器包括KEYENCE FU-77之透过式之光纤感应器。4.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该放大显示器包括KEYENCE FS-V11之放大显示器。5.一种判别不同晶圆制程之方法,适用于复数个不同晶圆制程,该方法包括下列步骤:提供复数个晶圆卡匣,分别具有不同的透光度,用于该各个不同晶圆制程;取得该各个晶圆卡匣之该透光度;以及依据该透光度,以判别该晶圆卡匣。6.如申请专利范围第5项所述之方法,更包括对于一预先设定之透光度发出警报。7.如申请专利范围第5项所述之方法,其中取得该晶圆卡匣之该透光度之步骤是藉由一光感应器施行。8.如申请专利范围第7项所述之方法,该光感应器包括KEYENCE FU-77之透过式之光纤感应器。9.如申请专利范围第5项所述之方法,其中依据该透光度,以判别该晶圆卡匣之步骤是藉由一放大显示器施行。10.如申请专利范围第9项所述之方法,其中该放大显示器包括KEYENCE FS-V11之放大显示器。图式简单说明:第1图系显示本发明实施例之判别晶圆卡匣装置之示意图。 |
