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发明名称
摘要
申请公布号 JP3251011(B2) 申请公布日期 2002.01.28
申请号 JP19900299285 申请日期 1990.11.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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