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Eine Spülzusammensetzung enthält mindestens ein wasserlösliches Polymer, ausgewählt aus einem wasserlöslichen Polysaccharid, Polyvinylalkohol, Polyethylenoxid, Polypropylenoxid, einem Copolymer aus Ethylenoxid und Propylenoxid und einem hydrophilen Polymer, erhalten durch Zugabe einer Alkyl- oder Alkylengruppe zu dem Copolymer. Die Spülzusammensetzung kann vorteilhafterweise zum Spülen von polierten Siliziumwafern eingesetzt werden.
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