Herstellungsverfahren für Reaktor zur Zersetzung von Gasen

摘要

Verfahren zur Herstellung eines Reaktors (12) zur Zersetzung eines Silizium enthaltenden Gases (7), umfassen die folgenden Schritte: DOLLAR A Bereitstellen eines im Wesentlichen rohrförmig ausgebildeten Reaktor-Rohlings (2) mit einer Innenwand (3) und einer Außenwand (4), und Aufbringen einer ein pulverförmiges Trennmittel enthaltenen Trenn-Schicht (11) zumindest auf der Innenwand (3) des Reaktor-Rohlings (2). Der mit der Trenn-Schicht (11) versehene Reaktor (12) bietet einen einfachen und wirkungsvollen Schutz der Innenwand (3) vor sich ablagerndem Siliziumpulver. Die Trenn-Schicht (11) und das sich darauf abgelagerte Siliziumpulver kann leicht mechanisch entfernt werden, ohne dass die Innenwand (3) beschädigt wird.