发明名称 METHOD FOR ANALYZING DEFECTS OF SEMICONDUCTOR DEVICES WITH COPPER INTERCONNECTS
摘要
申请公布号 KR20060017344(A) 申请公布日期 2006.02.23
申请号 KR20040065997 申请日期 2004.08.20
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 LIM, CHOUL HO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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