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发明名称
METHOD FOR MANUFACTURING A TUNGSTEN CONTACT ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR20060016978(A)
申请公布日期
2006.02.23
申请号
KR20040065465
申请日期
2004.08.19
申请人
DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC.
发明人
SEOK, KA MOON
分类号
H01L21/3205
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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