发明名称 MASK FOR VAPOR DEPOSITION
摘要 A thin plate-like mask for vapor deposition, formed with openings corresponding to a pattern for vapor deposition to a workpiece to be vapor-deposited on, is disclosed, wherein projections are formed on opposite faces opposite to vapor deposition target faces of the workpiece to be vapor-deposited on.
申请公布号 WO2006020469(A2) 申请公布日期 2006.02.23
申请号 WO2005US27515 申请日期 2005.08.01
申请人 EASTMAN KODAK COMPANY;MIURA, TSUTOMU;MORI, NOBUYUKI 发明人 MIURA, TSUTOMU;MORI, NOBUYUKI
分类号 C23C14/04;C23C14/24;G03F1/16 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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