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发明名称
Elektrostatischer Mikroantriebsvorrichtung und Installation mit solchen Vorrichtungen
摘要
申请公布号
DE60301818(D1)
申请公布日期
2006.02.23
申请号
DE20036001818
申请日期
2003.05.21
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS), PARIS
发明人
STADLER, ERIC;CHARTON, JULIEN
分类号
B81B3/00;G02B26/08;H01H59/00
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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