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发明名称
Verfahren zur Herstellung eines Gates in einem Finfet-Bauelement und Dünnen eines Stegs in einem Kanalgebiet des Fifet-Bauelements
摘要
申请公布号
DE112004000578(T5)
申请公布日期
2006.02.23
申请号
DE200411000578
申请日期
2004.03.30
申请人
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
发明人
YU, BIN;WANG, HAIHONG
分类号
H01L21/336;H01L29/786
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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