发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Gates in einem Finfet-Bauelement und Dünnen eines Stegs in einem Kanalgebiet des Fifet-Bauelements
摘要
申请公布号 DE112004000578(T5) 申请公布日期 2006.02.23
申请号 DE200411000578 申请日期 2004.03.30
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 YU, BIN;WANG, HAIHONG
分类号 H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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