| 发明名称 |
Strahlungsquelle für extremes Ultraviolett mit hoher Ausgangsleistung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60205062(T2) |
申请公布日期 |
2006.02.23 |
| 申请号 |
DE20026005062T |
申请日期 |
2002.04.26 |
| 申请人 |
UNIVERSITY OF CENTRAL FLORIDA FOUNDATION, INC. |
发明人 |
ORSINI, ROCCO A. |
| 分类号 |
G21K5/00;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/02;G21K5/08;H01L21/027;H05G2/00 |
主分类号 |
G21K5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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