REACTOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION OF SILICON

摘要

Bei einem Reaktor (1) zur Zersetzung eines Silizium enthaltenden Gases (2) ist zur Einsparung von Kosten mindestens ein elektrisch beheizbares Abscheide-Element (15) aus Silizium vorgesehen, das zur Verbesserung der elektrischen Leitfähigkeit eine Dotierung mit mindestens einem Fremdmaterial aufweist, wobei in einem Anfangszustand die Dotierung eine Konzentration derart besitzt, dass das Abscheide-Element (15) in ei­nem Endzustand mit dem darauf abgelagerten Silizium zur Herstellung von Siliziumschmelze für die Fertigung von polykristallinen Siliziumblöcken oder Siliziumeinkristallen für die Photovoltaik geeignet ist. Des Weiteren wird ein Verfahren zur Herstellung von Silizium mit dem erfindungsgemä­ßen Reaktor 1 und die Verwendung des hergestellten Siliziums in der Pho­tovoltaik beschrieben.