发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR PLASMA COATING
摘要
申请公布号 KR20060017209(A) 申请公布日期 2006.02.23
申请号 KR20040065788 申请日期 2004.08.20
申请人 LEE, HEE HONG 发明人 LEE, HEE HONG
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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