| 发明名称 |
FORMATION OF THIN SEMICONDUCTOR LAYERS BY LOW-ENERGY PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION AND SEMICONDUCTOR HETEROSTRUCTURE DEVICES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003223991(A1) |
申请公布日期 |
2004.10.18 |
| 申请号 |
AU20030223991 |
申请日期 |
2003.03.26 |
| 申请人 |
EIDGENOESSISCHE TECHNISCHE HOCHSCHULE ZUERICH |
发明人 |
HANS VON KAENEL |
| 分类号 |
C30B25/18;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/02 |
主分类号 |
C30B25/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
