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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ENHANCED CHAMBER CLEANING
摘要
申请公布号 KR100553481(B1) 申请公布日期 2006.02.22
申请号 KR20010004593 申请日期 2001.01.31
申请人 发明人
分类号 B08B7/00;B08B9/08;C23C16/44;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
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