发明名称 激光加工一种流体槽的方法
摘要 激光加工一种流体槽(126)的方法,包括将一个UV激光束对准一个带有微电子的基底,以便穿过该基底形成一个槽。
申请公布号 CN1738693A 申请公布日期 2006.02.22
申请号 CN02825856.8 申请日期 2002.06.21
申请人 惠普公司 发明人 D·卡希尔;J·R·波拉;D·J·奥赖利;G·斯科特;N·麦克罗林
分类号 B23K26/38(2006.01);B41J2/16(2006.01) 主分类号 B23K26/38(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 崔幼平
主权项 1.激光加工一种流体通道的方法,包括:将一个UV激光束对准一个带有微电子的基底,以便穿过基底形成一个流体通道,其中基底具有一个第一表面和一个对置的第二表面,上述第一表面具有一个第一通道区,而上述第二表面具有一个第二通道区,其中激光束对准第一和第二通道区,用于流体通道的双向激光加工。
地址 美国加利福尼亚州