发明名称 Apparatus for holding and processing thin film utilizing the apparatus
摘要
申请公布号 KR100554046(B1) 申请公布日期 2006.02.22
申请号 KR20040007008 申请日期 2004.02.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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