发明名称 有自定位的光纤共焦扫描显微镜
摘要 一种有自定位的光纤共焦扫描显微镜,包括照明光束输入部分(A),光纤扫描部分(B),与光纤扫描部分(B)交错置放的测量定位部分(C),探测采样部分(D)和控制数据采集处理部分(E)。其中照明光束输入部分(A)、光纤扫描部分(B)、探测采样部分(D)和控制数据采集处理部分(E)构成光纤共焦扫描显微镜,而照明光束输入部分(A)、光纤扫描部分(B)和测量定位部分(C)构成准共焦小视场显微镜。也就是说,本发明的一台显微镜具有两种显微镜的功能,既有显微扫描层析成像的功能,又有一次成像的功能,即是对测定目标进行自定位的功能。适用于纳米深度,亚微米宽度的三维结构检测。
申请公布号 CN1243268C 申请公布日期 2006.02.22
申请号 CN99113633.0 申请日期 1999.04.14
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 王桂英;杨莉松;徐至展
分类号 G02B21/00(2006.01) 主分类号 G02B21/00(2006.01)
代理机构 上海新天专利代理有限公司 代理人 张泽纯
主权项 1.一种有自定位的光纤共焦扫描显微镜,包括照明光束输入部分(A),光纤扫描部分(B),探测采样部分(D)和控制数据采集处理部分(E),其中照明光束输入部分(A)包括沿着激光器(1)出射光束前进的方向上依次置有耦合物镜(2),光纤耦合器(4),在光纤耦合器(4)的第一输出端(O1)上置有盛放折射率匹配液的容器(3);光纤扫描部分(B)包括沿光纤耦合器(4)第二输出端(O2)输出光束前进方向上,依次置有光束准直镜(5),采样物镜(6)和置于焦面(f)上的被测样品(7);探测采样部分(D)包括在光纤耦合器(4)第三输出端(O3)出射光束的前进方向上置有带探测器电源(14)的探测器(15);控制数据采集处理部分(E)包括置放被测样品(7)的带压电陶瓷驱动器(8)的由压电陶瓷构成的样品调节架(17),压电陶瓷驱动器(8)通过带平衡器的电源(13)与计算机(12)相联,计算机(12)同时还与探测采样部分(D)中的探测器(15)相联,其特征在于与光纤扫描部分(B)交错置放的有测量定位部分(C),测量定位部分(C)包括沿着置于样品调节架(17)上,在离焦面(P)上的被测样品(7)反射回来的光束前进方向上,依次有采样物镜(6),分光板(9),在分光板(9)反射光束前进的方向上,依次有第一放大目镜(10)和观察屏(11);在探测采样部分(D)中,在光纤耦合器(4)的第三输出端(O3)与探测器(15)的接受面之间置有第二放大目镜(16)。
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