用于基于事件的测试系统的多重测试结束信号

摘要

一种测试被测半导体器件(DUT)的基于事件的测试系统，该基于事件的测试系统可自由地构成多组引脚单元，其中每一组都能独立于其它组而执行测试操作。在每一单元组中，测试的起始和结束时序都通过产生多重测试结束信号来单独确定。该基于事件的测试系统包括：多个分配到DUT引脚的引脚单元；用于产生测试结束信号的信号发生器，该信号指示由对应引脚单元执行的当前测试已结束，其中测试结束信号是为每一引脚单元单独产生的，与其它引脚单元无关；及一个系统控制器，它通过与每一引脚单元的事件控制器相联，并将包括事件时序数据在内的测试程序提供给每一引脚单元的事件存储器，以控制该基于事件的测试系统的整体运行。每一引脚单元的测试结束信号根据该系统控制器规定的条件来选择，所选择的测试结束信号被提供给系统控制器和其它引脚单元。

主权项

1、一种基于事件的半导体测试系统，用于测试半导体器件，该系统包括：多个引脚单元，它们被分配到被测半导体器件的引脚，用于测试该被测半导体器件，其中各个引脚单元基于事件数据进行相互独立的操作，事件被限定为用于测试被测半导体器件的测试信号中逻辑状态的任何变化，每个事件的时序由指示与前一事件的时间差的事件时序数据来描述，每一引脚单元包括：一事件存储器，用于存储该事件时序数据，该数据用于产生施加于被测半导体器件的相应引脚的测试信号；一事件控制器，根据事件存储器提供的事件时序数据产生测试信号，并鉴定该被测半导体器件的响应输出，以控制该引脚单元的整体操作；用于该事件控制器对该响应输出的鉴定来产生测试结束信号的装置，该测试结束信号指示相应引脚单元已执行的当前测试结束，其中每个测试包括施加在被测半导体器件上的一组测试信号，为各个引脚单元产生的测试结束信号与其它引脚单元无关；及一系统控制器，用于控制该基于事件的半导体测试系统中的整体运行，它与每一引脚单元中的事件控制器相联，并将该事件时序数据提供给每一引脚单元中的事件存储器；其中，每一引脚单元的测试结束信号是根据系统控制器规定的条件选择的，所选择的测试结束信号被提供给该系统控制器和其它引脚单元。