| 发明名称 | 金属研磨液材料、金属研磨液、其制造方法及使用它的研磨方法 | ||
| 摘要 | 本发明可以提供一种含有氧化剂、氧化金属溶解剂、保护膜形成剂、该保护膜形成剂助剂和水的金属研磨液，其制造方法及使用其的研磨方法。而且作为这种金属研磨液的制备材料，本发明还可以提供一种含有氧化金属溶解剂、保护膜形成剂和该保护膜形成剂助剂的金属研磨液材料。 | ||
| 申请公布号 | CN1243071C | 申请公布日期 | 2006.02.22 |
| 申请号 | CN02123007.2 | 申请日期 | 1999.12.28 |
| 申请人 | 日立化成工业株式会社 | 发明人 | 内田刚;星野铁哉;寺崎裕树;上方康雄;小山直之;本间喜夫;近藤诚一 |
| 分类号 | C09K3/14(2006.01);H01L21/304(2006.01) | 主分类号 | C09K3/14(2006.01) |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 熊志诚 |
| 主权项 | 1.一种金属研磨液材料，其特征在于，含有氧化剂，氧化金属溶解剂，保护膜形成剂及该保护膜形成剂的溶解助剂；其含量为：成分 相对于100克金属研磨液材料的添加量氧化剂 0.03-0.7mol氧化金属溶解剂 1×10-6-0.005mol保护膜形成剂 0.0001-0.05mol该保护膜形成剂的溶解助剂选用保护膜形成剂的溶解度为25克/升以上的溶剂或表面活性剂，其使用量可根据保护膜形成剂的种类及量、及溶解助剂的种类及量决定。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||