| 发明名称 | 致动器单元 | ||
| 摘要 | 一种用于微机电装置的致动器单元，包括一个可移动臂，所述可移动臂包括第一臂，它与第二臂互连，并且设置成通过所述第一臂的电流使所述第一臂相对所述第二臂延伸，由此使所述可移动臂弯曲，其中所述第一臂至少部分地由钛铝氮化物合成物所构成。这种合成物有很高的氧化温度，使得能经受致动器单元在短时间内产生的高温。在一个实施例中，该致动器单元在喷墨打印机中构成热弯曲致动器部件。 | ||
| 申请公布号 | CN1242912C | 申请公布日期 | 2006.02.22 |
| 申请号 | CN00806366.4 | 申请日期 | 2000.04.20 |
| 申请人 | 西尔弗布鲁克研究有限公司 | 发明人 | K·西尔弗布鲁克 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01);B41J2/045(2006.01) | 主分类号 | B81B3/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 沙捷 |
| 主权项 | 1.一种构成微机电装置一部分的致动器单元，它包括一个在一端连接到基底的可移动臂，所述可移动臂包括第一臂，它与第二臂互连，并且设置成通过所述第一臂的电流使所述第一臂相对所述第二臂延伸，由此使所述可移动臂弯曲，其中所述第一臂至少部分地由钛铝氮化物合成物所构成，所述合成物中铝的含量为所述合成物的20％到55％。 | ||
| 地址 | 澳大利亚新南威尔士州 | ||