喷墨头用基板、该基板的制造方法和使用上述基板的喷墨头

摘要

本发明是一种具有与通电对应地发生用于喷出墨的热能的发热部的喷墨头用基板，可高精度地形成发热部并可实现发热部的小面积化，同时抑制电极布线的腐蚀以及其进行。为此，在基体上配置用耐腐蚀性金属构成的薄膜的第1电极101，在其上配置发热电阻体层107，进而通过对于第1电极重叠地配置用Al构成的第2电极103，在不产生大的尺寸离散性的情况下形成发热部。即使产生在发热部上或在其附近的保护层的缺陷，由于发热电阻体层的材料与Al相比在抗侵蚀的性能方面较强，而且第1电极是耐腐蚀性的，故也能有效地抑制腐蚀的进行。

主权项

1.一种喷墨头用基板，具有与通电对应地发生用于喷出墨的热能的发热部，其特征在于，具备：具有用于形成上述发热部的间隙的第1电极；包含上述间隙并作为上述第1电极的上层被配置的发热电阻体层；以及具有比上述间隙宽的间隙并重叠在上述第1电极上而配置的第2电极，其中，上述第1电极的厚度比上述第2电极的厚度薄。