发明名称 薄膜晶体管及其制造方法
摘要 一种具有粘接层的有机薄膜晶体管(OTFT)和其制造方法。OTFT包括形成在衬底上的栅极、形成在栅极上和衬底的剩余暴露部分上的栅绝缘层、形成在栅绝缘层上的粘接层、形成在粘接层上的源/漏极、和形成在源/漏极和粘接层上的半导体层。栅绝缘层和半导体层是有机的,粘接层提供源/漏极和栅绝缘膜之间的粘接、防止栅漏电流、还提高接触电阻。
申请公布号 CN1738070A 申请公布日期 2006.02.22
申请号 CN200510103803.0 申请日期 2005.08.05
申请人 三星SDI株式会社 发明人 具在本;徐旼彻
分类号 H01L51/05(2006.01);H01L51/40(2006.01);H01L29/786(2006.01);H01L21/336(2006.01) 主分类号 H01L51/05(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 韦欣华;段晓玲
主权项 1、一种薄膜晶体管(TFT),包括:布置在衬底上的栅极;布置在栅极和衬底的暴露部分上的栅绝缘层;布置在栅绝缘层上的粘接层;布置在粘接层上的源/漏极,粘接层的暴露部分保持在源极和漏极之间;和布置在源/漏极上和粘接层的暴露部分上的半导体层。
地址 韩国京畿道