发明名称 |
薄膜晶体管及其制造方法 |
摘要 |
一种具有粘接层的有机薄膜晶体管(OTFT)和其制造方法。OTFT包括形成在衬底上的栅极、形成在栅极上和衬底的剩余暴露部分上的栅绝缘层、形成在栅绝缘层上的粘接层、形成在粘接层上的源/漏极、和形成在源/漏极和粘接层上的半导体层。栅绝缘层和半导体层是有机的,粘接层提供源/漏极和栅绝缘膜之间的粘接、防止栅漏电流、还提高接触电阻。 |
申请公布号 |
CN1738070A |
申请公布日期 |
2006.02.22 |
申请号 |
CN200510103803.0 |
申请日期 |
2005.08.05 |
申请人 |
三星SDI株式会社 |
发明人 |
具在本;徐旼彻 |
分类号 |
H01L51/05(2006.01);H01L51/40(2006.01);H01L29/786(2006.01);H01L21/336(2006.01) |
主分类号 |
H01L51/05(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
韦欣华;段晓玲 |
主权项 |
1、一种薄膜晶体管(TFT),包括:布置在衬底上的栅极;布置在栅极和衬底的暴露部分上的栅绝缘层;布置在栅绝缘层上的粘接层;布置在粘接层上的源/漏极,粘接层的暴露部分保持在源极和漏极之间;和布置在源/漏极上和粘接层的暴露部分上的半导体层。 |
地址 |
韩国京畿道 |