| 发明名称 | 真空镀膜机的抽气系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种真空镀膜机的立体抽气系统，该系统利用一个支架将整个系统的结构、管路进行立体式配置，大大缩小了整个排气系统的体积、节约了系统的占地面积，同时缩短了整个系统的管道线路，有效提高了泵的抽速和效率。 | ||
| 申请公布号 | CN2760048Y | 申请公布日期 | 2006.02.22 |
| 申请号 | CN200420055965.2 | 申请日期 | 2004.12.31 |
| 申请人 | 兰州大成自动化工程有限公司;兰州交通大学 | 发明人 | 范多旺;邓志杰;于正勤;武福;范多进;王汉安;解武波;孔令刚 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01);C23C14/56(2006.01) | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) |
| 代理机构 | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人 | 王学定 |
| 主权项 | 1、一种真空镀膜机的立体抽气系统，由滑阀泵(1)经罗茨泵(2)、接予抽阀(3)、扁阀后与真空室相连，排放的气体由滑阀泵(1)和维持泵(4)经过滤罐(5)从排气口(6)排出，其特征在于：所述滑阀泵(1)、罗茨泵(2)及维持泵(4)共用一个过滤罐(5)，且罗茨泵(1)和过滤罐(5)固定设置在支架(7)上；维持泵(4)和滑阀泵(1)设置在支架(7)内。 | ||
| 地址 | 730070甘肃省兰州市安宁区安宁西路118号508信箱 | ||