发明名称 |
碲镉汞红外光电探测器微小光敏元芯片 |
摘要 |
本实用新型公开了一种碲镉汞红外光电探测器微小光敏元芯片,包括:衬底,通过环氧胶与衬底牢固结合的碲镉汞片,与环氧胶接触的碲镉汞片表面有一下钝化层,碲镉汞片的中间为光敏元,二侧为电极区,其特征在于:在碲镉汞片裸露的侧面覆盖有一侧面钝化层。由于有了侧面钝化层,探测器的电阻、响应率、探测率、噪声等指标明显优于无侧面钝化层的探测器。 |
申请公布号 |
CN2760760Y |
申请公布日期 |
2006.02.22 |
申请号 |
CN200420114090.9 |
申请日期 |
2004.12.13 |
申请人 |
中国科学院上海技术物理研究所 |
发明人 |
朱龙源;李向阳;宋润秋;刘诗嘉 |
分类号 |
H01L31/00(2006.01);G01J1/02(2006.01) |
主分类号 |
H01L31/00(2006.01) |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 |
代理人 |
郭英 |
主权项 |
1.一种碲镉汞红外光电探测器微小光敏元芯片,包括:衬底(1),通过环氧胶与衬底牢固结合的碲镉汞片(3),与环氧胶接触的碲镉汞片表面有一下钝化层(2),碲镉汞片的中间为光敏元区,二侧为电极区,光敏元区上有一上钝化层(4),在电极区上有一铟金电极层(5),其特征在于:在碲镉汞片(3)裸露的侧面覆盖有一侧面钝化层(6)。 |
地址 |
200083上海市玉田路500号 |