发明名称 SLURRY COMPOSITION, METHOD FOR FORMING THE SLURRY COMPOSITION AND METHOD FOR POLISHING AN OBJECT USING THE SLURRY COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR20060016498(A) 申请公布日期 2006.02.22
申请号 KR20040064977 申请日期 2004.08.18
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SO, JAE HYUN;MOON, SUNG TAEK;LEE, DONG JUN;KIM, NAM SOO;AHN, BONG SU;KANG, KYOUNG MOON
分类号 C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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