发明名称 THE METHOD FOR REMOVING THE RESIDUE IN SEMICONDUCTOR FILM-DEPOSITION PROCESS
摘要
申请公布号 KR20060016476(A) 申请公布日期 2006.02.22
申请号 KR20040064936 申请日期 2004.08.18
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 JOENG, SEI GWANG
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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