透明物质之接着方法及接着之石英玻璃板与使用其之装置

摘要

本发明提供一种将对短波长之紫外光透明之物质(尤其是石英玻璃板等)互相接着之方法，该方法可于室温下简便地实施，且接着物可透过石英玻璃等固有短波长界限内之光，该方法系以醇盐做为接着材料，并藉由紫外光照射接着部分，而将两个物质接着。将石英玻璃板横向接着，可制造大面积之石英玻璃板。该大面积之石英玻璃板可被利用做为光洗净装置之光源部与洗净室之隔间窗。

主权项

1.一种透明物质之接着方法,其特征为藉由使金属 醇盐存在于至少一者为对紫外光透明之介质组成 之二个物质之间,自该二物质之外侧施加机械性压 力,使该二物质之间隙变窄并密合,且使用氮气或 惰性气体环境气体以防止紫外光之吸收,并用波长 短于200nm之真空紫外光照射该金属醇盐部分,以使 该二个物质接着。 2.一种接着之石英玻璃板,其特征为以如申请专利 范围第1项之接着方法横向接着二片以上之石英玻 璃板,以使其大面积化,且其接着部对于波长比350nm 短之紫外光为透明。 3.一种光洗净装置,其具备1个或复数个准分子灯( excimer lamp)或低压水银灯之光源部,其系自此等光 源以紫外线照射配置于洗净室中之被洗净物以洗 净被洗净物,其中该光源部与洗净室之间之窗系使 用如申请专利范围第2项之接着之石英玻璃板。 图式简单说明: 图1为表示玻璃板形状之图。 图2为表示从光源将紫外线在玻璃板上照射状态之 图。 图3A-3F为表示本发明之玻璃接着方法之其他实施 形态之图。 图4为表示将接着之石英玻璃板用于窗子之光洗净 装置之实施形态之图。 图5为表示光洗净装置之实施例之图。