发明名称 双凸固体浸入式镜头
摘要 本发明揭露一种双凸固体浸入式镜头。与知平凸固体浸入式镜头具有一平底面不同的是,该揭露之镜头具有一凸底部表面。该底部表面之曲率半径系小于待检物件。此构造可较准确地决定待检特征之位置,且增强浸入式镜头与待检物件间之光耦合。在此揭露之镜头特别适用于检测半导体装置,且特别是覆晶(或晶片等级)封包装置之显微镜。此浸入式镜头也可用于光学记忆媒体的读取或读/写头中。
申请公布号 TWI249622 申请公布日期 2006.02.21
申请号 TW091137365 申请日期 2002.12.25
申请人 亚帕托尼克斯公司 发明人 奈德派克德门;詹姆士S. 维克斯
分类号 G02B3/00 主分类号 G02B3/00
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 1.一种双凸浸入式镜头,其至少包含: 一顶部凸面,具有一第一曲率半径;及 一底部凸面,具有一第二曲率半径。 2.如申请专利范围第1项所述之双凸浸入式镜头,其 中该第二曲率半径系大于该第一曲率半径。 3.如申请专利范围第1项所述之双凸浸入式镜头,其 中该第二曲率半径系至少大于该第一曲率半径10 倍。 4.如申请专利范围第1项所述之双凸浸入式镜头,其 中该底部表面通过该顶部表面之该径向几何中心 。 5.如申请专利范围第1项所述之双凸浸入式镜头,其 中该底部表面通过该顶部表面之该径向几何中心 的上方。 6.如申请专利范围第1项所述之双凸浸入式镜头,其 中该底部表面通过该顶部表面之该径向几何中心 的下方。 7.如申请专利范围第2项所述之双凸浸入式镜头,其 中该底部表面通该顶部表面之该径向几何中心。 8.如申请专利范围第2项所述之双凸浸入式镜头,其 中该底部表面通过该顶部表面之该径向几何中心 的上方。 9.如申请专利范围第2项所述之双凸浸入式镜头,其 中该底部表面通过该顶部表面之该径向几何中心 的下方。 10.如申请专利范围第1项所述之双凸浸入式镜头, 其中该顶部凸面更包含一抗反射涂布层。 11.如申请专利范围第1项所述之双凸浸入式镜头, 其中更包含一后斜面围绕该底部表面。 12.如申请专利范围第1项所述之双凸浸入式镜头, 其中该镜头至少包含矽。 13.一种用于检验一物件之显微镜,其至少包含: 一物镜;及 一双凸浸入式镜头,其至少包含一顶部凸面与一底 部凸面。 14.如申请专利范围第13项所述之显微镜,其中该浸 入式镜头系耦合至该物件。 15.如申请专利范围第13项所述之显微镜,其中该浸 入式镜头之该底部表面通过该顶部表面之该径向 几何中心。 16.如申请专利范围第13项所述之显微镜,其中该浸 入式镜头之该底部表面通过该顶部表面之该径向 几何中心的上方。 17.如申请专利范围第13项所述之显微镜,其中该浸 入式镜头之该底部表面通过该顶部表面之该径向 几何中心的下方。 18.一种浸入式镜头,其至少包含: 一顶部凸面;及 一底部表面,具有一实质上小且经界定之接触点。 19.如申请专利范围第18项所述之浸入式镜头,其中 该底部表面更包含一后斜面围绕该接触点。 20.如申请专利范围第19项所述之浸入式镜头,其中 该接触点具有的一曲率半径不同于该顶部表面之 曲率半径。 21.如申请专利范围第20项所述之浸入式镜头,其中 该接触点具有的一曲率半径至少大于该顶部表面 之10倍。 图式简单说明: 第1a至第1c图显示依据先前技艺的三种固体浸入式 镜头。 第2a与2b图显示本发明之固体浸入式镜头的第一与 第二具体实施例。 第3图显示本发明之固体浸入式镜头的第三具体实 施例。 第4图显示本发明之固体浸入式镜头的第四具体实 施例。 第5图例示一显微镜纳入依据本发明具体实施例之 固体浸入式镜头。 第6图显示本发明之固体浸入式镜头的第五具体实 施例。 第7图例示使用本发明之镜头在光学储存应用上。 第8图显示依据本发明一代表性具体实施例使用本 发明浸入式镜头及支持板的测试设备之通用构形 。 第9图显示第8图中依据本发明一代表性具体实施 例使用之测试设备的相关详图。 第10a至10b图显示一般先前技艺之光学系统。 第11图系用于依据本发明具体实施例的二固体浸 入式镜头中该接触对施加作用力之关系图。
地址 美国