发明名称 制造无需使用金属底层之银基底低发射率涂料之方法与装置及由此制得之物件
摘要 提出将含红外线反射性(例如,银)多层涂料沉积在基材上以形成涂覆物件之方法。使用一或更多个陶瓷阴极以在银层上沉积保护层。陶瓷阴极之使用排除先行技艺中常见之金属底层之需要。红外线反射层与陶瓷层均可在相同之涂覆区沉积,此涂覆区含足量之氧以提供不会负面地影响红外线反射层性质之实质上氧化之陶瓷涂料层。
申请公布号 TWI249582 申请公布日期 2006.02.21
申请号 TW088122344 申请日期 2000.01.15
申请人 片片坚俄亥俄州工业公司 发明人 马兰阿尔巴;詹姆士J. 芬力
分类号 C23C14/08;C03C17/36 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 1.一种形成被涂覆物件之方法,其包含下列步骤: 在基材上喷镀沉积金属层;及 在经控制之气氛中喷镀导电性陶瓷阴极而于金属 上沉积一定义为陶瓷层之掺金属之金属氧化物层 。 2.根据申请专利范围第1项之方法,其中金属层选自 由银,金,铝与铜组成之群。 3.根据申请专利范围第1项之方法,其中陶瓷层选自 由掺铟氧化锡,掺锌氧化锡,掺锑氧化锡,掺镉氧化 锡,掺锡氧化铟及掺铟氧化锌组成之群。 4.根据申请专利范围第1项之方法,其中陶瓷层为掺 铝氧化锌层。 5.根据申请专利范围第1项之方法,其包括将被涂覆 物件加热以将被涂覆物件弯曲、回火或热强化。 6.根据申请专利范围第1项之方法,其包括: 在基材上喷镀沉积第一锡酸锌层; 在第一锡酸锌层上喷镀沉积第一氧化锌层; 进行喷镀沉积金属层以在第一氧化锌层上沉积该 金属层之步骤; 进行喷镀陶瓷靶材以在该金属层沉积陶瓷层之步 骤; 在陶瓷层上喷镀沉积第二锡酸锌层; 在第二锡酸锌层上喷镀沉积第二氧化锌层; 在第二氧化锌层上喷镀沉积第二金属层; 在第二金属层上喷镀沉积第二陶瓷层; 在第二陶瓷层上喷镀沉积第三锡酸锌层;及 在第三锡酸锌层上喷镀沉积保护面漆。 7.根据申请专利范围第1项之方法,其包括: 在基材上喷镀沉积第一锡酸锌层; 在第一锡酸锌层上喷镀沉积一定义为第一陶瓷层 之陶瓷层; 进行喷镀沉积金属层以在第一陶瓷层上沉积该金 层之步骤; 进行喷镀陶瓷靶材以在该金属层上沉积一定义为 第二陶瓷层之陶瓷层之步骤; 在第二陶瓷层上喷镀沉积第二锡酸锌层; 在第二锡酸锌层上喷镀沉积第三陶瓷层; 在第三陶瓷层上喷镀沉积第二金属层; 在第二金属层上喷镀沉积第四陶瓷层; 在第四陶瓷层上喷镀沉积第三锡酸锌层;及 在第三锡酸锌层上喷镀沉积保护面漆。 8.根据申请专利范围第1项之方法,其包括: 在陶瓷层上喷镀沉积抗反射层。 9.根据申请专利范围第1项之方法,其中陶瓷层为第 一陶瓷层,而且此方法包括在基材上喷镀沉积第二 陶瓷层及在第二陶瓷层上喷镀沉积金属层。 10.根据申请专利范围第1项之方法,其包括在基材 上喷镀沉积抗反射层及在抗反射层上沉积金属层 。 11.根据申请专利范围第10项之方法,其中抗反射层 选自由锡酸锌,铟锡氧化物,氧化钛,氧化锡,氧化铟 ,氧化锌,氮化矽及氧化铋组成之群。 12.根据申请专利范围第1项之方法,其中沉积金属 层之步骤包括沉积红外线反射性金属层。 13.根据申请专利范围第12项之方法,其中陶瓷层为 第一陶瓷层,此方法包括下列步骤: 在基材上喷镀沉积第二陶瓷层; 在第二陶瓷层上喷镀沉积红外线反射性金属层;及 进行喷镀陶瓷靶材以在红外线金属层上沉积第一 陶瓷层之步骤。 14.根据申请专利范围第12项之方法,其包括: 在基材上喷镀沉积第一抗反射层; 在第一抗反射层上喷镀沉积红外线反射层; 进行喷镀陶瓷靶材以在红外线反射层上沉积陶瓷 层之步骤;及 在陶瓷层上喷镀沉积第二抗反射层。 15.根据申请专利范围第14项之方法,其中在相同之 涂覆区进行沉积红外线反射层及沉积陶瓷层之步 骤。 16.根据申请专利范围第1项之方法,其中沉积金属 层与陶瓷层之步骤系在相同之涂覆区进行,而且此 方法进一步包括将足量之氧加入涂覆区,以在进行 该等沉积步骤至少之一者时实质上完全氧化陶瓷 层之步骤。 17.根据申请专利范围第16项之方法,其包括控制涂 覆区中之氧含量,使得氧含量为0-20体积%。 18.根据申请专利范围第16项之方法,其中金属层为 银层,而且此方法包括控制涂覆区中之氧,使得银 层之导电度不降至低于在氩气气氛中喷镀之银层 之50%。 19.一种被涂覆物件,其包含: 基材; 沉积在基材上之金属层;及 在经控制气氛中藉由喷镀导电性陶瓷阴极而沉积 在金属层上之一定义为陶瓷层之掺金属之金属氧 化物层。 20.根据申请专利范围第19项之被涂覆物件,其中金 属层为红外线反射性金属层。 21.根据申请专利范围第19项之被涂覆物件,其中金 属层选自由银,金,铝与铜组成之群。 22.根据申请专利范围第19项之被涂覆物件,其中陶 瓷层实质上完全氧化。 23.根据申请专利范围第19项之被涂覆物件,其中陶 瓷层具有30-100之厚度。 24.根据申请专利范围第19项之被涂覆物件,其中被 涂覆物件为结构窗。 25.根据申请专利范围第19项之被涂覆物件,其中被 涂覆物件为绝缘单位。 26.根据申请专利范围第19项之被涂覆物件,其中被 涂覆物件为汽车玻璃。 27.根据申请专利范围第19项之被涂覆物件,其中陶 瓷层选自由掺铝氧化锌,锡酸锌,掺铝氧化锡,锡酸 镉,掺氟氧化锡,掺锡氧化铟及掺铟氧化锌组成之 群。 28.根据申请专利范围第19项之被涂覆物件,其包括: 沉积在基材上之第一锡酸锌层; 沉积在第一锡酸锌层上之第一陶瓷层,及沉积在第 一陶瓷层上之金属层; 沉积在金属层上之第二陶瓷层; 沉积在第二陶瓷层上之第二锡酸锌层; 沉积在第二锡酸锌层上之第三陶瓷层; 沉积在第三陶瓷层上之第二金属层; 沉积在第二金属层上之第四陶瓷层; 沉积在第四陶瓷层上之第三锡酸锌层;及 沉积在第三锡酸锌层上之保护面漆。 29.根据申请专利范围第19项之被涂覆物件,其包括: 沉积在基材上之第一锡酸锌层; 沉积在第一锡酸锌层上之第一氧化锌层,及沉积在 第一氧化锌层上之金属层; 沉积在金属层上之陶瓷层; 沉积在陶瓷层上之第二锡酸锌层; 沉积在第二锡酸锌层上之第二氧化锌层; 沉积在第二氧化锌层上之第二金属层; 沉积在第二金属层上之第二陶瓷层; 沉积在第二陶瓷层上之第三锡酸锌层;及 沉积在第三锡酸锌层上之保护面漆。 30.根据申请专利范围第26项之被涂覆物件,其中汽 车玻璃为挡风玻璃。 31.根据申请专利范围第27项之被涂覆物件,其包括 位于红外线反射层与基材间之另一个陶瓷层。 32.根据申请专利范围第29项之被涂覆物件,其中各 锡酸锌层具有40-200之厚度,各氧化锌层具有20-100 之厚度,各金属层具有80-150之厚度,各陶瓷层 具有20-100之厚度,及保护面漆具有20-50之厚度 。 33.根据申请专利范围第29项之被涂覆物件,其中金 属层包括银及陶瓷层包括掺铝氧化锌。 34.根据申请专利范围第29项之被涂履物件,其中保 护面漆选自包括氧化钛及分级氧氮化矽。 35.一种涂覆器,其具有上游方向及下游方向,其包 含: 红外线反射性金属阴极;及 位于该红外线反射性金属阴极下游之含氧陶瓷阴 极。 36.根据申请专利范围第35项之涂覆器,其包括至少 一个位于该红外线反射性金属阴极下游之其他陶 瓷阴极。 37.根据申请专利范围第35项之涂覆器,其中该陶瓷 阴极选自由掺铝氧化锌,锡酸锌,掺铝氧化锡,锡酸 镉,掺氟氧化锡,掺锡氧化铟及掺铟氧化锌组成之 群。 图式简单说明: 图1为一种涂覆器之侧视,分解图,其为了明确之目 的及利用本发明之原理而移除侧壁; 图2为一种基材之侧视图,其具有加入本发明特点 之多层涂料; 图3为表1所揭示之实验之沉积速率相对氧百分比 之图表; 图4为表1所揭示之实验之吸收度相对氧百分比之 图表; 图5为表2所揭示之实验之片电阻及发射率相对氧 百分比之图表;及 图6为表2所揭示之实验之穿透率相对氧百分比之 图表。
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