发明名称 SURFACE WAVE PLASMA TREATMENT APPARATUS USING MULTI-SLOT ANTENNA
摘要
申请公布号 KR100554116(B1) 申请公布日期 2006.02.21
申请号 KR20040052911 申请日期 2004.07.08
申请人 发明人
分类号 H05H1/46;B01J19/08;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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