发明名称 Two-axis actuator with large-area stage
摘要
申请公布号 KR100552687(B1) 申请公布日期 2006.02.20
申请号 KR20030058286 申请日期 2003.08.22
申请人 发明人
分类号 H02N1/06;H02N1/00 主分类号 H02N1/06
代理机构 代理人
主权项
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