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发明名称
PREPARATION OF HIGH PURITY NITROGEN TRIFLUORIDE
摘要
申请公布号
KR100553592(B1)
申请公布日期
2006.02.20
申请号
KR20030061725
申请日期
2003.09.04
申请人
发明人
分类号
C01B21/083
主分类号
C01B21/083
代理机构
代理人
主权项
地址
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