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发明名称
METHOD FOR PLANARIZING DIELECTRIC LAYER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100552807(B1)
申请公布日期
2006.02.20
申请号
KR20030084526
申请日期
2003.11.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/3105
主分类号
H01L21/3105
代理机构
代理人
主权项
地址
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