发明名称 POLISHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100552009(B1) 申请公布日期 2006.02.20
申请号 KR19997010295 申请日期 1999.11.08
申请人 发明人
分类号 B24B37/04;B24B37/10;B24B37/27;H01L21/304 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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