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经营范围
发明名称
MASK SUBSTRATE INFORMATION PRODUCING METHOD AND MASK SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号
KR100552041(B1)
申请公布日期
2006.02.20
申请号
KR20050013757
申请日期
2005.02.18
申请人
发明人
分类号
G03F1/60;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/027
主分类号
G03F1/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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